该厂为8屏幕尺寸晶圆加工线相互配套的超纯净水机系统,经常带来含硅废污水150吨。废污水内虽无高价属,但硅含锌量高易积灰,且功率电阻率需高于18MΩ·cm也能制造业废水除理。原先的除理工学院艺未能满足需要新颁发的《智能制造业水污染问题物进行废气排放的标准》(GB39731-2020)十分进行废气排放最大限度。
污废水 基本成分特殊性
具体废弃物物
:氢氧化铁硅(200-300mg/L)、颗粒状硅(孔径0.1-1μm)
特别让
:TOC<10μg/L,硼含铁<5μg/L
水体特点
:低电阻率(<50μS/cm)但硅化学物质底部形态繁琐
处置制作工艺流量
研发选择"梯级膜拆分+电去阴离子"组合起来的工艺:
微滤预解决
:1μm瓷质膜阻止大颗粒剂硅,通量保护80LMH
阴阳离子更换光敏树脂
:D201大孔硅橡胶进行性物理吸附硅酸分子结构
特殊RO体统
:第1段环保再生资源回成品率60%,2、段选取高脱硼膜构件
EDI电去亚铁离子
:电流量相对密度2A/m²,持续时间快速清理残存阴离子
紫外光杀菌消毒
:254nm太阳辐射线服用量40mJ/cm²
技艺工作亮点
发掘多功能阻硅剂(有机物胺类组合物),延迟膜环保问题频次3倍
EDI功能的创新流道规划,硅删去率增加至99.8%
百度在线硅解析仪(测量方法范畴0.1-500μg/L)进行招商精准有效控制
开机运行取得的成绩
经然后方测试:
总硅从280mg/L减至0.05mg/L
硼含氧量从8μg/L减至0.3μg/L
系统软件回笼率从原40%完善至68%
膜根换定期延时至5年,年操作利润有效降低35%