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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8屏幕尺寸晶圆加工线相互配套的超纯净水机系统,经常带来含硅废污水150吨。废污水内虽无高价属,但硅含锌量高易积灰,且功率电阻率需高于18MΩ·cm也能制造业废水除理。原先的除理工学院艺未能满足需要新颁发的《智能制造业水污染问题物进行废气排放的标准》(GB39731-2020)十分进行废气排放最大限度。 污废水 基本成分特殊性 具体废弃物物 :氢氧化铁硅(200-300mg/L)、颗粒状硅(孔径0.1-1μm) 特别让 :TOC<10μg/L,硼含铁<5μg/L 水体特点 :低电阻率(<50μS/cm)但硅化学物质底部形态繁琐 处置制作工艺流量 研发选择"梯级膜拆分+电去阴离子"组合起来的工艺: 微滤预解决 :1μm瓷质膜阻止大颗粒剂硅,通量保护80LMH 阴阳离子更换光敏树脂 :D201大孔硅橡胶进行性物理吸附硅酸分子结构 特殊RO体统 :第1段环保再生资源回成品率60%,2、段选取高脱硼膜构件 EDI电去亚铁离子 :电流量相对密度2A/m²,持续时间快速清理残存阴离子 紫外光杀菌消毒 :254nm太阳辐射线服用量40mJ/cm² 技艺工作亮点 发掘多功能阻硅剂(有机物胺类组合物),延迟膜环保问题频次3倍 EDI功能的创新流道规划,硅删去率增加至99.8% 百度在线硅解析仪(测量方法范畴0.1-500μg/L)进行招商精准有效控制 开机运行取得的成绩 经然后方测试: 总硅从280mg/L减至0.05mg/L 硼含氧量从8μg/L减至0.3μg/L 系统软件回笼率从原40%完善至68% 膜根换定期延时至5年,年操作利润有效降低35%

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