某半导体芯片创造各个企业因晶圆洗环节制造含氨工业废水,用水量200吨/天。工业废水里面的除化学需氧量外还包含的氟化物和轻微天价属,治理难度很大大。立即污染物标淮需求化学需氧量<5mg/L,氟化物<3mg/L。
废水处理工艺营养成分及起源
晶圆清洁工作生活污水(最主要的从何而来):含氧化还原电位200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀繁琐流程废水处理方法:含进样器铜、镍等巨资属,pH值起伏大
CMP粉磨废液:含硅颗料及化学需氧量
处置施工工艺鑫霖环保流程
运用"耐腐蚀积淀+膜拆分+折点氯化"结合工艺设备:
预净化处理
:加药CaCl2除氟,保持pH在7.5-8.
反渗透膜程序
:去掉0.01μm上颗粒状物
反渗透设备到浓缩咖啡
:将氯离子精提至1000mg/L这
折点氯化
:精准管理氯污泥脱水量,将氯离子转成为惰性气体
铝离子交易
:安全保障天价属达到
不可能视觉效果
氯离子安全<3mg/L,氟化物<1mg/L
高价属水分含量不超过检则限
水循环率达75%
飞灰有量降低40%